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Breitband-Rastermikroskop für elektromagnetische Felder im Terahertzbereich


Kurzfassung

Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.

Es handelt sich um einen abbildenden Mikrowellen-Prober zur dreidimensionalen Untersuchung von integrierten mikroelektronischen Schaltungen.


Hintergrund

Im Stand der Technik wird ein SQUID-Mikroskop für Raumtemperaturproben beschrieben, bei dem eine geschlossene Leiterbahn mit einem Josephson-Kontakt über eine Kante eines Substrats geführt wird. Damit kann der Abstand zwischen der Probe und der Mikroskopspitze mit dem SQUID reduziert werden.


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Problemstellung

Das Breitband-Rastermikroskop bringt die Elektronik zur Signalanalyse bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heran und kann die Signale aus dem Chip berührungslos aufnehmen.


Lösung

Die Antenne hat einen Josephson-Kontakt, die Signalverarbeitungseinrichtung ist angrenzend an die Antenne auf der Messspitze integriert und eine Übertragungsstrecke für das Messsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz, dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung durch die Messumgebung transportierbar ist.


Vorteile

  • Ersatzschaltbilder komplexer integrierter Schaltungen ermitteln
  • Defekte in realisierten Schaltungen finden
  • Modellrechnungen für die dreidimensionale Abstrahlung von Signalen überprüfen

Anwendungsbereiche

Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.


Service

  • Lizenz zur gewerblichen Nutzung
  • Gemeinsame Weiterentwicklung

EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH

Dr.-Ing. Tobias Braunsberger
+49 (0) 511 850 308-
braunsberger@ezn.de
www.ezn.de
Adresse
Theaterstraße 2
30159 Hannover



Entwicklungsstand

Labormuster


Patentsituation

  • DE 50 2005 012 822 erteilt

Stichworte

Josephson, Messtechnik, Mikrowellen-Prober, Qualitätskontrolle, Rastermikroskop, Terahertz, THz

Angebot Anbieter-Website


Kontakt | Geschäftsstelle

TechnologieAllianz e. V.
Christiane Bach-Kaienburg
(Geschäftsstellenleiterin)

c/o PROvendis GmbH
Schloßstr. 11-15
D-45468 Mülheim an der Ruhr