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Kurzfassung

Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.

Es handelt sich um einen abbildenden Mikrowellen-Prober zur dreidimensionalen Untersuchung von integrierten mikroelektronischen Schaltungen.

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Hintergrund

Im Stand der Technik wird ein SQUID-Mikroskop für Raumtemperaturproben beschrieben, bei dem eine geschlossene Leiterbahn mit einem Josephson-Kontakt über eine Kante eines Substrats geführt wird. Damit kann der Abstand zwischen der Probe und der Mikroskopspitze mit dem SQUID reduziert werden.

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Bilder & Videos

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Problemstellung

Das Breitband-Rastermikroskop bringt die Elektronik zur Signalanalyse bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heran und kann die Signale aus dem Chip berührungslos aufnehmen.

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Lösung

Die Antenne hat einen Josephson-Kontakt, die Signalverarbeitungseinrichtung ist angrenzend an die Antenne auf der Messspitze integriert und eine Übertragungsstrecke für das Messsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz, dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung durch die Messumgebung transportierbar ist.

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Vorteile

• Ersatzschaltbilder komplexer integrierter Schaltungen ermitteln
• Defekte in realisierten Schaltungen finden
• Modellrechnungen für die dreidimensionale Abstrahlung von Signalen überprüfen

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Anwendungsbereiche

Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.

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Service

• Lizenz zur gewerblichen Nutzung
• Gemeinsame Weiterentwicklung