Breitband-Rastermikroskop für elektromagnetische Felder im Terahertzbereich
Ref-Nr: TA-13520
Kurzfassung
Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.
Es handelt sich um einen abbildenden Mikrowellen-Prober zur dreidimensionalen Untersuchung von integrierten mikroelektronischen Schaltungen.
Hintergrund
Im Stand der Technik wird ein SQUID-Mikroskop für Raumtemperaturproben beschrieben, bei dem eine geschlossene Leiterbahn mit einem Josephson-Kontakt über eine Kante eines Substrats geführt wird. Damit kann der Abstand zwischen der Probe und der Mikroskopspitze mit dem SQUID reduziert werden.
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Problemstellung
Das Breitband-Rastermikroskop bringt die Elektronik zur Signalanalyse bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heran und kann die Signale aus dem Chip berührungslos aufnehmen.
Lösung
Die Antenne hat einen Josephson-Kontakt, die Signalverarbeitungseinrichtung ist angrenzend an die Antenne auf der Messspitze integriert und eine Übertragungsstrecke für das Messsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz, dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung durch die Messumgebung transportierbar ist.
Vorteile
- Ersatzschaltbilder komplexer integrierter Schaltungen ermitteln
- Defekte in realisierten Schaltungen finden
- Modellrechnungen für die dreidimensionale Abstrahlung von Signalen überprüfen
Anwendungsbereiche
Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.
Service
- Lizenz zur gewerblichen Nutzung
- Gemeinsame Weiterentwicklung
Anbieter

EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH
Dr.-Ing. Tobias Braunsberger
0511 850 308-0
braunsberger@ezn.de
www.ezn.de
Adresse
Theaterstraße 2
30159 Hannover
Entwicklungsstand
Labormuster
Patentsituation
- DE 50 2005 012 822 erteilt
Stichworte
Josephson, Messtechnik, Mikrowellen-Prober, Qualitätskontrolle, Rastermikroskop, Terahertz, THzAngebot Anbieter-Website