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Optische Vermessung von Oberflächen


Kurzfassung

Optische Vermessung von mikroskopischen Probenstrukturen


Hintergrund

An der Ruhr-Universität Bochum wurde ein Verfahren zur mikroskopischen Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen mittels kurzkohärenter Interferometrie vorgestellt. Herkömmliche Verfahren, wie z.B. die digitale holographische Mikroskopie oder die optische Kohärenz-Tomographie, ermöglichen nur eine Vermessung einer Probe in eingeschränkten Größenbereichen.


Lösung

Die neuartige Technologie erlaubt eine hochauflösende und hoch-präzise Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen. Somit können Grenz- oder Oberflächen mit einer Genauigkeit von einigen Nanometern und Profilstrukturen im Mikrometerbereich gemessen werden. Die Messmethode erfolgt berührungslos und es können Bildfelder in der Größe von mehreren Quadratzentimetern mit einer Bildwiederholfrequenz von einigen Kilohertz abgetastet werden.


Vorteile

  • Berührungslose und schnelle Messmethode
  • Auflösung im Mikrometerbereich
  • Genauigkeit im Nanometerbereich
  • Gleichzeitige Vermessung von verschiedenen Strukturgrößen
  • Vermessung verborgener Strukturen

Anwendungsbereiche

Die Erfindung findet durch die schnelle, hochauflösende und genaue Messmethode u.a. in der Optik, der Messtechnik, der Photonik, der Lastertechnik, der Sensorik und der Halbleitertechnik Verwendung. Mögliche Einsatzgebiete sind u.a. die Vermessung von mikromechanischen Bauteilen, Verbundwerkstoffen, keramischen Werkstoffen oder gedruckter Elektronik. Des Weiteren eignet sich die Methode um verborgene Strukturen zu messen.

Potenzielle Anwendungsgebiete

  • Optik
  • Messtechnik
  • Photonik
  • Lasertechnik
  • Sensorik
  • Halbleitertechnik

Service

Im Namen der Ruhr-Universität Bochum bieten wir interessierten Unternehmen die Möglichkeit zur Lizenzierung und zur Weiterentwicklung der Technologie.


PROvendis GmbH

Dipl.-Phys.-Ing. Rolf Klingelberger
+49.208 94105-28
kl@provendis.info
www.provendis.info
Adresse
Schloßstr. 11-15
45468 Mülheim an der Ruhr



Entwicklungsstand

Prototyp


Stichworte

Keywords: Berührungslose Messung, Mikrometer-Auflösung, Nanometer-Genauigkeit, Vermessung Strukturgrößen, Vermessung verborgener Strukturen, Contact free measurement, micrometer resolution, nanometer precision, structure size, hidden structures

Angebot Anbieter-Website


Kontakt | Geschäftsstelle

TechnologieAllianz e. V.
Christiane Bach-Kaienburg
(Geschäftsstellenleiterin)

c/o PROvendis GmbH
Schloßstr. 11-15
D-45468 Mülheim an der Ruhr