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Plasmasensor - Planarer Sensor mit gestapeltem Aufbau zur Messung von Plasmaparametern


Kurzfassung

Der neuartige Plasmasensor basiert auf der sogenannten aktiven Plasma-Resonanzspektroskopie, wobei der Sensor selbst in der Wand des Reaktors montiert wird und somit den Prozess nicht beeinflusst. Durch ein integriertes Symmetrierglied kann der Sensor über ein einfaches Koaxialkabel gespeist werden.


Hintergrund

Plasmen kommen in vielen technischen Bereichen zum Einsatz. Sie können Oberflächen modifizieren, reinigen oder beschichten. Wesentlich für die Qualität eines solchen Verfahrens ist die Kenntnis des Plasmazustandes. Hierbei sollen die Plasmaparameter nicht nur gemessen, sondern auch für die Regelung genutzt werden. Vorhandene Methoden erfüllen viele industrielle Anforderungen nicht und sind zudem komplex und kostenintensiv.


Bilder & Videos


Lösung

Der neuartige Plasmasensor basiert auf der sogenannten aktiven Plasma-Resonanzspektroskopie, wobei der Sensor selbst in der Wand des Reaktors montiert wird und somit den Prozess nicht beeinflusst. Durch ein integriertes Symmetrierglied kann der Sensor über ein einfaches Koaxialkabel gespeist werden.


Vorteile

  • Einfacher Aufbau
  • Einfacher Einbau in bestehende Systeme
  • Robust
  • Kostengünstig
  • Kaum Rückwirkung auf das Plasma
  • Unempfindlich gegen dielektrische Beschichtung während der Prozess-überwachung
  • Integrierbar in die Plasmaregelung
  • Hochtemperaturstabile Realisierung möglich

Anwendungsbereiche

Der Plasmasensor kann in den meisten industriellen Plasmaprozessen eingesetzt werden, solange keine leitfähigen Schichten abgeschieden werden. Der Sensor kann die Plasmaparameter, insbesondere die Plasmaelektronenfrequenz, messen und die Werte für eine aktive Regelung zur Verfügung stellen und damit die Qualität des Prozesses deutlich verbessern. Da der Sensor in die Reaktorwand integriert wird, ist kein großer technischer Aufwand zur Installation notwendig.


Service

Im Namen der Ruhr-Universität Bochum bieten wir interessierten Unternehmen die Möglichkeit zur Lizensierung und zur Weiterentwicklung der Technologie an.


PROvendis GmbH

Dipl.-Ing. Andreas Brennemann
+49.208 94105-33
ab@provendis.info
www.provendis.info
Adresse
Schloßstr. 11-15
45468 Mülheim an der Ruhr



Entwicklungsstand

Demonstrationsexemplar


Stichworte

Plasmasensor, Frequenz, Dichte, Plasma, Messung, Sensor, Regelung, Plasma sensor, frequency, density, measurement, control

Angebot Anbieter-Website


Kontakt | Geschäftsstelle

TechnologieAllianz e. V.
Christiane Bach-Kaienburg
(Geschäftsstellenleiterin)

c/o PROvendis GmbH
Schloßstr. 11-15
D-45468 Mülheim an der Ruhr