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Kurzfassung

Es besteht in vielen Bereichen ein hoher Bedarf an vakuumkompatiblen hochpräzisen Mehrkoordinatenantrieben.

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Hintergrund

Auf dem Gebiet der Präzisionspositioniertechnik haben sich bei kleinen Verfahrbereichen derzeit vor allem Systeme mit Piezoaktoren und Festkörperführungen als Standardlösung durchgesetzt.

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Bilder & Videos

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Problemstellung

Nachteilig bei diesen Systemen sind jedoch u.a. der sehr kleine Verfahrweg, die starke Temperaturempfindlichkeit und die ausgeprägte Kennlinienhysterese, was die Positionsregelung dieser Systeme erheblich erschwert.

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Lösung

Der neuartige Mehrkoordinatenaktor besitzt eine neuartige Aktoranordnung zur integrierten elektrodynamischen Kraft-erzeugung in zwei senkrecht zueinander stehenden Koordinaten mit einer adaptiven Lastkraftkompensation, um so die bekannten Vorteile bei elektromagnetischen und elektro-dynamischen Führungen in einer sehr kompakten und sehr einfachen Konstruktion zu vereinen.

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Vorteile

Das Produkt gewährleistet eine kompaktere Bauweise mit weniger beweglichen Elementen. Dadurch weist das resultierende Antriebssystem einen geringeren Energiedarf auf und Temperaturschwankungen.

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Anwendungsbereiche

Wichtige Anwendungsfelder des neuartigen Mehr-koordinatenaktors liegen in den Bereichen Messtechnik, Materialbearbeitung sowie Pumpen/Ventile Viele moderne Applikationen, beispielsweise aus der Optik, Biotechnologie, Medizintechnik und auch aus der Halbleiterindustrie sind aufgrund der permanenten Miniaturisierung technischer Objekte auf hochpräzise Positioniersysteme für diese Bereiche angewiesen.