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TENSORMETER - Eine neue Dimension der Widerstandsmessung


Kurzfassung

Mit dem Tensormeter können alle Komponenten des elektrischen Widerstands von dünnen Schichten wie zum Beispiel von Siliziumwafern schnell, einfach und präzise mit einer Messung erfasst werden. Das Tensormeter bestimmt den kompletten Widerstandstensor einer oder mehrerer Dünnschichtproben wofür sonst eine Vielzahl von Messgeräten und aufwendigen Messaufbauten nötig ist. Zudem misst das Tensormeter exakt in hoher Auflösung und bei geringstem Rauschen ohne Probenstrukturierung (z.B. Lithografie).


Hintergrund

Das Tensormeter ermöglicht eine umfassende elektrische Charakterisierung von Dünnschicht- und Bulk-Proben auf der Grundlage einer 4-Punkt-Geometrie, z. B. die gleichzeitige Messung von Schichtwiderstand und Hall-Widerstand, Van-der-Pauw-Messungen an unstrukturierten Dünnfilmproben oder Hall mit Nullpunktverschiebung Effektmessungen.

Aufgrund seines einzigartigen Designs liefert das Tensormeter gleichzeitig genau getrennte und absolute Werte für den Längs- und Querwiderstand einer Probe, selbst für unregelmäßige Formen, die nicht litographisch strukturiert sind.


Bilder & Videos


Lösung

Bei Verwendung des Tensormeters kann daher bei vielen Charakterisierungsaufgaben auf die Fotolithografie verzichtet werden, was viel Zeit und Aufwand spart. Obwohl im Vergleich zu herkömmlichen Van-der-Pauw & Hall-Messungen nur die Hälfte der Schaltkonfigurationen verwendet werden, wird die volle Genauigkeit des gemessenen Signals durch Nachberechnung innerhalb des Geräts wiederhergestellt, wodurch möglicherweise der Durchsatz verdoppelt wird. Das Tensometer bietet extrem rauscharme Messungen, die eine kurze Integrationszeit ermöglichen, und dies führt zu einer massiven Einsparung von Messzeit.


Vorteile

  • Messen Sie den Sheet- und Hallwiderstand bei hoher Präzision und extrem geringem Rauschen
  • Messen Sie unregelmäßig geformte Proben, ohne dass eine lithografische Strukturierung erforderlich ist
  • Ersetzen Sie den Lock-In-Verstärker, die Quellenmesseinheit, das Digitalmultimeter und den Analogmatrixschalter
  • Sparen Sie Messzeit und erzielen Sie einen höheren Durchsatz

Anwendungsbereiche

Der Tensormeter kann für eine Vielzahl von Messanwendungen in der Dünnschichtcharakterisierung, Wafer- und Vorrichtungsprüfung sowie in der Materialforschung eingesetzt werden.

Mit nur einem Gerät und einer automatisierten Messung kann ein vollständiger Satz elektrischer Parameter für eine umfassende Charakterisierung elektrischer Proben abgeleitet werden.


Service

WAS WIR ANBIETEN

Wir möchten Ihnen mit dem Tensormeter den neuen Standard in der Widerstandsmessung näher bringen. Wir bieten Ihnen das Tensormeter zum Kauf an. Sie können das Messgerät zudem mieten und wenn Sie es wünschen, führen wir für Sie Probemessungen durch.

KONTAKT

Dr. Tobias Kosub, Technische Entwicklung

Tel.: +49 351 260 2900

t.kosub@hzdri.de


Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Stefanie Hartmann
+49 351 260 2710
stefanie.hartmann@hzdr.de
www.hzdr.de/db/Cms?pNid=1987
Adresse
Bautzner Landstraße 400
01328 Dresden



Entwicklungsstand

Marktreife


Patentsituation

  • DE 10 2017 105 317.4 erteilt
  • EP 18 709 975.9 erteilt
  • DE 10 2018 106 466.7 erteilt

Stichworte

Widerstandmessung, Tensormeter, Widerstandsensor, Messgerät

Kontakt | Geschäftsstelle

TransferAllianz e. V.
Christiane Bach-Kaienburg
(Geschäftsführerin)

c/o TransMIT GmbH
Kerkrader Straße 3
D-35394 Gießen